Макро, микро буюу нано түвшинд
материалыг боловсруулах аливаа технологи нь харгалзах хэмжигдэхүүнүүдийг хэмжих
хэрэгслийг заавал шаарддаг. Олон янзын хэмжилтийн багажийн дотор их бага зайг
хэмждэг тусгай багажууд байдаг.
Тэгэхээр, миллметр (10-3м)-ийн эрэмбэ хүртэлх
бага зайг ердийн шугамын тусламжтайгаар хялбархан хэмждэг. Жишээ нь, шугамаар
нягт хатуу цаас (картон)-ны зузааныг төвөггүй хэмжиж болно. Хэрвээ хуудасны тоо
олон бол нимгэн хуудас цаасны зузааныг хэмжихэд ч амархан. Зуун хуудсыг багцлан
хурааж, шугамаар зузааныг хэмжээд 100-д хуваагаарай. Ийм хэмжилтийн дүнд бид
бүх хуудас ав адилхан гэж үзвэл нэг хуудасны зузааныг гарган авна.
Гэхдээ бага хэмжээсийн хувьд шугам
тохирохгүй. Хэрвээ түүгээр үсний зузааныг
хэмжих гэж оролдвол бидний үс маш нарийхан учраас хэмжиж чадахгүй нь
илэрхий гэж хэлэх байх. Иймээс цаашлаад улам бага зайг хэмжихийн тулд бүхний
сайн мэдэх ийм багаж бол ердийн оптик микроскоп билээ. Оптик микроскопоор
0.25мкм хүртэлх жижиг хэсгийг харж болдог. Оптикийн зарчимаар ажилладаг
микроскопийг улам сайжруулах аргууд нанометрийн хэмжээтэй юмсыг харах
чадвартай, түүний электрон вариантийг бүтээхэд хүргэсэн. Электрон микроскопоор
атомын торыг ялгаж хардаг ч, тэдгээрийн дефектийг илрүүлэх боломжгүй. Харин
нанотехнологийн хувьд тусгаар атомуудыг сайн ялгаж харах зорилготой шүү
дээ!
Ийм учраас тухайн төхөөрөмжүүд бүх
боломжоо шавхах үед л эрдэмтэд тавьсан зорилтоо шийдэх шинэ зам хайх болсон. Ингээд
ХХ зууны эхэнд бодисын гадаргуугийн судалж буй талбайг өсгөж харалгүйгээр, харин
түүнийг тэмтрэх маягаар бодисыг судлах өвөрмөц санаа гарч ирсэн. 1981 онд
туннелийн эффект дээр үндэслэсэн анхны тэмтрүүлт туннелийн микроскоп бүтээгдсэн
(ТТМ). ТТМ ба туннелийн эффектийг бид дараа дэлгэрэнгүй судлах бөгөөд харин
одоо зөвхөн тэдгээрийн ерөнхий мөн чанарыг авч үзье.
Туннелийн
эффект нь сонгодог физик байдлаар адил төстэй зүйлгүй, зарчмын хувьд квант
механикийн эффект учраас судлаачдын хувьд асар их сонирхолтой. Энэ нь эгэл
бөөмийн бөөмлөг-долгионлог гэсэн хоёрдмол чанар дээр үндэслэдэг. Сонгодог
механикийн үүднээс, хэрвээ V0>E бол, E энергитэй ямарч
материаллаг бие V0 өндөртэй потенциал саадыг давж гарах боломжгүй. Жишээ
нь, хэрвээ материаллаг биеийг бөмбөг, потенциал саадыг маш өндөр бетон хашаа
гэж үзээд, бөмбөгийг хангалттай бус өндөртэйгээр хашаа руу шидвэл, түүний
энерги саадыг давахад хангалтгүй бөгөөд саадыг мөргөж хойшоо ойно. Гэхдээ хэрвээ
материаллаг бие болгож электроныг авбал, хэрвээ потенциал саадын өндөр электроны
хувийн энергээс их байлаа ч гэсэн, электрон өөрийн энергээ бага зэрэг өөрчлөн
саадын нөгөө талд тодорхой магадлалтайгаар гарах боломж бий. Энэ нь “хашаа”-нд
ямар нэгэн “нүх” буюу хонгил (туннель) байгаатай адил. Эхлээд харахад
тайлбарлаж боломгүй, энэхүү туннелчилэл нь электронд бөөмлөг, долгионлог шинж
чанарын аль аль нь байдаг гэдгийн мөрдөлгөө юм. Электроныг E энергитэй сонгодог
бөөм гэж төсөөлбөл, тэр нь замдаа саадтай учрахдаа их энергээр давж болох уг саадаас
ойх ёстой болно. Гэсэн хэдий ч, электрон бас долгион тул энэ саадыг рентген
долгион материаллаг объектыг чөлөөтэй нэвтрэн өнгөрдөгтэй адилаар нэвтрэн гардаг.
7-р зураг. Туннелийн
эффект
Тийнхүү аливаа дамжуулагч
буюу хагас дамжуулагчийн гадаргуу дээр термоэлектрон эмиссийн үр дүнд биш,
харин туннелийн эффектээр бодисоос сугаран “гарсан” нилээд тооны чөлөөт
электронууд үргэлж ажиглагддаг.
Хэрвээ хоёр дамжуулагч бодис авч,
тэдгээрийг бие биеэс нь 0.5 нм зайд
байрлуулан тэдгээрт харьцангуй бага потенциалын ялгавар (0.1-1B) өгвөл тэдгээрийн
хооронд туннелийн гүйдэл гэж нэрлэдэг туннелийн эффектээр бий болсон цахилгаан
гүйдэл үүсдэг.
Хэрвээ сонирхож буй биеийн гадаргууд
хурц юм ойртуулж тэр туршилтыг нэг адил давтвал, жишээ нь, зузаан нь атомын дайтай
үзүүртэй маш нарийн зүүг судалж буй объект дээгүүр явуулбал (гадаргууг нь
тэмтрэн) обьктын бүтцийн тухай мэдээллийг атомын түвшинд гарган авч болно.
1981 онд IBM компанийн ажилтан
Г.Биннинг ба Г.Рорер нар энэ үзэгдлийн үндсэн дээр анхны тэмтрүүлт туннелийн микроскоп (ТТМ)-ыг бүтээсэн, 1982 онд түүний
тусламжтайгаар түүхэнд анх удаа алтны гадаргуугийн дүрслэлийг гарган авсан
ба харин дараа нь атомын ялгах цахиурын
гадаргуугийн зургийг харсан. Энэ нээлтийн төлөө 1985 онд эрдэмтэд Нобелийн
шагнал хүртсэн ба тэмтрүүлт микроскопийн цаашдын хөгжил нанотехнологийг
хурдацтай хөгжүүлэхэд хүргэсэн.
8-р зураг.
Монокристалл цахиурын гадаргуугийн ТТМ-ийн дүрслэл
Хувь заяаны егөөдлөөр, ТТМ-ийн асар
их боломжуудыг шууд ухаж ойлгож чадаагүй, зарим шинжлэх ухааны-нийтлэг хэвлэлүүд
бас Бининг, Рорер нарын бүтээлийн тайлбарыг агуулсан өгүүллийг “хангалттай сонирхолтой бус” гэдэг үндэслэлээр хэвлэлтэнд
авахыг хүсээгүй.
ТТМ-ийн ажиллагааны эрхтэн болох зондын үүргийг гүйдэл дамжуулагч металл
зүү гүйцэтгэдэг. Зондыг судалж буй гадаргуу руу маш бага зай (~0.5нм)-д ойртуулж тэдгээрт тогтмол хүчдэл өгөхөд дээж зонд хоёрын
хоорондох зайнаас экспоненциалаар буурдаг туннелийн гүйдэл үүсдэг. Энэ нь зайг
зөвхөн 0,1 нм-ээр нэмэгдүүлэхэд туннелийн гүйдэл бараг 10 дахин буурдаг гэсэн үг.
Чухам энэ нь микроскопын өндөр ялгах чадварыг хангадаг, учир нь гадаргуугийн хотгор
гүдгэрийн өндрийн яльгүй өөрчлөлт туннелийн гүйдлийн мэдэгдэхүйц өөрчлөлтийг
бий болгодог. Ажиглах системийн тусламжтайгаар гүйдэл ба зайг тогтмол барьж,
зонд X ба Y тэнхлэгүүдийн дагуу
түүн дээгүүр шилжиж, гадаргууг түүний хотгор гүдгэрээс хамааран дээшлэх, доошлох
маягаар тэмтэрдэг. Энэ шилжилтийн тухай мэдээллийг компьютерээр олж тогтоон программаар дүрслэн
харуулах бөгөөд үүний үр дүнд судлаач шаардлагатай
ялгах чадвартайгаар харж чадна.
9-р зураг. ТТМ-ийн ажиллагааны схем
Дээжийг тэмтрэх горимоос хамааран
ТТМ-ийн хийцийн хоёр вариант байдаг.
Тогтмол өндөртэй горимд зүүний үзүүр дээж дээгүүр хэвтээ хавтгайд шилждэг,
харин туннелийн гүйдэл өөрчлөгддөг (10-р зур. (а)). Гадаргуугийн цэг болгонд
хэмжсэн туннелийн гүйдлийн утгын тухай өгөгдлийн үр дүнгээс түүний хотгор
гүдгэрийн төрхийг байгуулдаг.
Тогтмол
гүйдлийн горимд ТТМ түүний цэг болгон дахь гадаргуу дээрх тэмтрэх
төхөөрөмжийн өндрийг тохируулах замаар туннелийн тогтмол гүйдлийг барихад
зориулагдсан буцах холбоосын системийг ажилуулдаг (10-р зур. (б)).
Горим бүр давуу ба дутагдалтай
талууд бий. Тогтмол өндөртэй горим хурдан, яагаад гэвэл системд тэмтрэх
төхөөрөмжийн дээш-доошоо шилжилт болдоггүй, гэвч энэ үед зөвхөн харьцангуй гөлгөр
дээжээс ашигтай мэдээллийг гарган авч болно. Тогтмол гүйдлийн горимд өндөр
нарийвчлалтайгаар нарийн төвөгтэй гадаргууг судалж болно, гэвч үүнд их хугацаа
зарцуулдаг.
Туннелийн тэмтрүүлт микроскопийн
чухал эд анги бол нанометрийн мянганы нэг хүртэл нарийвчлалтайгаар гадаргуу дээгүүрх
зондны шилжилтийг хангах ёстой механик манипулятор юм. Ердийн механик
манипуляторыг пьезокерамик материалаар бэлтгэдэг. Ийм материалын онцлог шинж
чанар нь пьезоэффект юм. Үүний мөн
чанар нь дараахь зүйлд оршдог: хэрвээ пьезоматериалаас тэгш өнцөгт “тоосго” огтлон
авч эсрэг байрлалтай талууд дээр металл электрод суулган, тэдгээрт потенциалын
ялгавар өгвөл гүйдлийн үйлчлэлээр тоосгоны геометр хэмжээс өөрчлөгддөг. Нөгөө
талаас: тоосгоны бага деформац (шахах)-ийн үед түүний эсрэг байрлалтай
төгсгөлүүд дээр потенциалын ялгавар үүсдэг. Тэгэхээр гүйдлийн бага өөрчлөлтийг
удирдаж, тэмтрүүлт микроскопийн ажилгаанд шаардагдах маш бага зайд зондийг
шилжүүлэх боломжтой.
10-р зураг. ТТМ-ийн ажиллах горимууд.
Практик хийцүүдэд ерөнхийдөө хэд хэдэн салангид
электродтай нимгэн ханатай хоолойн хэлбэртэй пьезокерамик манипуляторыг
ашигладаг. Удирдах хүчдэл зондын шилжилт
огторгуйн гурван X, Y, Z координтааар шилжин явагдах тийм манипуляторын урсалт
буюу нугаралыг бий болгодог.
11-р зураг. Пьезоманипуляторын схем
Орчин үеийн манипуляторын хийц нь зондын шилжилтийн
диапазоныг хавтгайд 100-200мкм, өндрөөр 5-12мкм хүртэл байхаар хангадаг.
Туннелийн микроскоп нь
эрдэмтэдэд гадаргууг атомын түвшинд судлах боломжийг өгсөн. Гэсэн хэдий ч энэ
багаж хэд хэдэн хязгаарлалттай байдаг. Туннелийн эффект дээр суурилсан энэхүү
багаж нь зөвхөн цахилгаан гүйдлийг сайн дамжуулдаг материалыг судалгаанд
хэрэглэх боломжтой.
Гэвч дэвшил нэг байрандаа
байгаагүй, тэгээд 1986 онд IBM-ийн цюрихийн салбарын лабораторид дараагийн үе
болох атомын хүчний микроскоп
(АХМ)-ыг бүтээсэн. АХМ бас атомын нарийвчлалтайгаар гадаргууг судлах боломжийг өгдөг,
гэвч заавал цахилгаан дамжуулагч албагүй. Өнөөдөр АХМ судлаачдын сонирхолыг хамгийн
их татаж байна. Атомын хүч ба туннелийн микроскопуудын ажиллах зарчмууд бараг
адилхан, туннелийнхээс ялгаатай нь атомын хүчний микроскопын ажиллагаа атом
хоорондын холбоосын хүчийг ашиглах дээр үндэслэдэг. Хоёр биеийн атомуудын
хоорондох бага зай (ойролцоогоор 0,1нм)-д түлхэлцэх хүч үйлчлэх (зур. 12а) ба харин их
зайд-таталцах (зур. 12б) хүч үйлчилдэг.
12-р зураг. АХМ-ийн ажиллах
зарчим
Тэмтэрдэг атомын хүчний
микроскопид тийм биеүүдийн үүргийг судалж буй гадаргуу ба түүн дээгүүр гулсдаг
үзүүрүүд гүйцэтгэдэг. АХМ-д зонд болгож алмазан зүү ашигладаг. Гадаргуу ба
үзүүрийн хооронд үйлчилж буй F хүч өөрчлөгдөх үед
түүнтэй бэхлэгдсэн жижиг пүрш хэлбийж, үүнийг нь мэдрэгчээр бүртгэдэг. Харимхай
элемент (жижиг пүрш)-ийн хазайлтийн утга гадаргуугийн хотгор гүдгэрийн тухай
мэдээллийг өгдөг.
Зураг дээр атом хоорондын
хүч зүүний үзүүр дээж хоёрын хоорондох зайнаас хамаарах хамаарлын муруйг
үзүүлэв.
Зүү гадаргуу руу ойртохын
хирээр түүний атом дээжийн атом руу улам хүчтэйгээр татагддаг. Зүү гадаргуу
хоёр тэдгээрийн электрон бүрхүүлүүд нь цахилгаан статикаар түлхэлцэж эхлэхээр
нилээд ойртоогүй үед таталцлын хүч өссөөр байдаг. Цаашдаа ойртох тусам цахилгаан
статик түлхэлцэл таталцлын хүчийг экспоненциалаар сулруулдаг. Эдгээр
хүчнүүд атомуудын хоорондох 0.2нм зайд тэнцвэрт ордог.
ТТМ-той төстэйгээр АХМ-д
гадаргуугийн тэмтрэлт хоёр аргаар явагдах боломжтой. Үүнд: кантилевер (хөндлөвч, зондоор)-ээр тэмтрэх ба сууриар тэмтрэх.
Эхний тохиолдолд кантилевер судалж буй гадаргуугийн дагуу хөдөлдөг, хоёрдугаар
тохиолдолд хөдөлгөөнгүй кантилевертэй харьцангуйгаар суурь өөрөө хөдөлдөг. Гадаргуутай
зондын харилцан үйлчлэлцэх хүчийг бүртгэхийн тулд зондын үзүүрээс ойсон
лазерийн цацрагийн хазайлтыг бүртгэх дээр үндэслэсэн аргыг ашигладаг. Цацраг
тусгай хөнгөн цагааны толин үеээр бүрэгдсэн кантилеврийн яг үзүүр рүү чиглэдэг
ба түүний дараа тусгай дөрвөн хэсэглэлтэй фотодиод дээр ойж тусдаг. Тэгэхээр,
кантилеврийн нэн бага хазайлт фотодиодын хэсэглэлтэй харьцангуй лазерийн
цацрагийг шилжихэд хүргэдэг ба тэр нь аливаа кантилеврийн аль зураг шилжиж буйг
заагч фотодиодын дохиог өөрчилдөг.
13-р зураг. Атом хоорондын харилцан үйлчлэлийн хүч
үзүүр ба дээжийн хоорондох
зайнаас хамаарах нь
Ийм систем цацрагийн 0,1" өнцөгөөр хазайх хазайлтыг хэмжих боломж өгдөг
бөгөөд энэ нь кантилеврийн нанометрийн зууны хувиар хазайхад харгалздаг!
Ийм учраас АХМ дээжийг дамжуулагч
байхыг шаардахгүй бөгөөд хагас дамжуулагч, тусгаарлагч, ДНК молекул, бусад
зөөлөн материалуудын шинж чанарыг судлах боломжтой.
14-р зураг. Лазерийн
цацрагийн анхны байрлалаасаа хазайхыг бүртгэх нь.
Зондын микроскопын цаашдын хөгжилт
нь түрүү бидний ярьсан зарчим гадаргуутай зондын зүү харилцан үйлчлэлцэх бараг
аливаа бүх хэлбэрийн хувьд хэрэгжиж болохыг
харуулсан. Энэ нь тэмтрүүлт зондын микроскоп (ТЗМ) гэдэг ерөнхий нэр бүхий
олон төрлийн микроскопуудыг бүтээхэд хүргэсэн. Өнөөдөр дараахь төрөл зүйлүүдийг
мэдэх болсон. Үүнд:
- туннелийн зонд;
-
атомын хүчний зонд;
-
ойрын орны оптик зонд;
-
соронзон хүчний зонд;
-
цахилгаан статик хүчний зонд гэх мэт.
ТЗМ-ийн
ерөнхий схемийг дараахь байдлаар төсөөлдөг.
15-р зураг. ТЗМ-ийн
ажиллах ерөнхий схем
Тэмтрүүлт
зондын микроскоп болгоны бүтцэд өөрсдийн онцлог шинж байдаг. Гэсэн ч ерөнхий
схем нь их бага хэмжээгээр адилхан. Ер нь ТЗМ-ийн бүрэлдхүүнд бүртгэж буй
зондын өгөгдлыг хүлээн авдаг, бичдэг, тэдгээрийн үндсэн дээр ТЗМ-ийн дүрсийг
байгуулах, микроскопийн цахилгаан механикийн хэсгийн ажиллагааг удирддаг компьютер
багтдаг. Түүнээс гадна тусгай программ хангамж судлаачид ажиглагдаж буй
гадаргуугийн зургийг шинжлэхэд гарган авсан дүрсүүдтэй хүссэнээрээ ажиллах (маштаблах,
эргүүлэх, зүсэлт байгуулах гэх мэт) боломж өгдөг.
Тэмтрүүлт
зондын микроскопын ухаанд бүрэлдэн тогтсон нэр томьёо нь өөр дээрээ англи
хэлний гарлын ул мөрийг авч явдаг. Тухайлбал, тэмтэрдэг зүүний үзүүрийг “хошуу”(tip),
харин ялтасыг-“кантилевер”(cantilever) гэж нэрлэх нь элбэг.
Орчин
үед ТЗМ нь нанотехнологийн үндсэн багаж юм. Ихээхэн төгөлдөржүүлж боловсронгуй
болгосны ачаар тэдгээр нь зөвхөн судалж буй обьектуудын тополог (геометр шинж
чанар)-ийг бус, цахилгаан ба соронзон шинж чанар, хатуулаг, найрлагын нэгэн
төрөл гэх мэт бас өөр олон онцлог шинжийг судлах боломжтой болсон. Гэхдээ энэ
бүгдийг нанометрийн нарийвчлалтайгаар шүү!
Янз
бүрийн параметрүүдийг тодорхойлохоос гадна орчин үеийн ТЗМ тусгаар атомуудыг
атгаж барих, тэдгээрийг өөр байрлал руу зөөх, янз бүрийн юмны гадаргуу шинэ
хэрэгцээтэй чанартай болж нэмэгдэхээр дамжуулагчуудыг нэг атомын өргөнтэйгээр
атом атомаар угсрах, нанообьектуудыг нарийн
төвөгтэйгээр үйлдэх (manipulate) бололцоог олгодог.
ТТМ-ийн
зүүний тусламжтайгаар атомуудтай ажиллах хоёр үндсэн арга байдаг. Үүнд: хэвтээ ба босоо арга. Босоо аргаар ажиллах үед
хэрэгцээтэй атомыг барьж аваад зондийг хэдэн ангстремээр өргөж гадаргуугаас
тасалдаг. Гадаргуугаас атом тасарсаныг гүйдлийн үсрэлтээр хянадаг. Атомыг тасалж
аваад шилжүүлэн зөөх нь хэвтээ ажиллагааны үе дэх шиг, түүнийг гадаргуугийн дээгүүр
“өнхрүүлэх”-ээс илүү их хүчин чармайлтыг
шаарддаг, гэвч дараа нь зөөлтийн процесс гадаргуу дээр тааралдах саад (гишгүүр,
нүх, шингээгдсэн атом)-аас үл хамаардаг болох нь ойлгомжтой. Зөөлтийн дараа гадаргуу
руу зүүний үзүүрийг ойртуулан, зүүн дээр хүчдэлийг сэлгэн залгаснаар
шаардлагатай байрлалд атомыг “түлхэж унагадаг”.
Өнөөдөр
дэлхий дээр олон төрлийн ТЗМ, түүнийг дагалдах хэрэгслийг хамааралтайгаар үйлдвэрлэж байна. Нэрд гарсан
фирмүүд дундаас Digital Instruments, Park Scientific Instruments, Omicron,
Topometrix, Burleigh гэх мэтийг цохон нэрлэж болно. Тэдгээрийн үнэ, жишээ нь,
ердийн АХМ-ийн хувьд 40 мянган доллараас аваад шийдэж буй бодлогын хүрээ, иж
бүрдэлээс хамаарч 100-200 мянган доллар ба түүнээс дээш хүртэлх өргөн мужид
хэлбэлздэг. Орост ТЗМ-ийг Нанотехнологи-МДТ, Наноиндустрийн концерн зэрэг фирмүүд
үйлдвэрлэн гаргаж байна.
Өөрөө угсрагдахуй
Материал
сайн чанартай байхын тулд атом ба молекулын түвшинд сайн зохион байгуулагдсан
байх ёстой. Ийм өгөгдсөн бүтцийг бүтээх нанотехнологийн аргуудын нэг нь
өөрөө-угсрагдах юм.
Өөрөө
угсрагдах нь амьд байгальд өргөн тархсан байдаг. Бүх эдийн бүтэц эсээс өөрөө угсрагдахуйгаар,
эсийн өөрийн бүтэц нь тусгаар молекулын өөрөө угсрагдахуйгаар тодорхойлогддог. Байгаль дахь наносистемийн
өөрөө угсрагдах механизм нь судлаачдыг зохиомол нанобүтцийг бүтээхийн тулд
түүний зарчмуудыг “хуулах” оролдого хийхэд түлхсэн. Тэгэхээр, орчин үед байгалийн
ясны эдийг дуурайсан наноматериалыг бэлтгэхэд амжилт олсон. Үүний тулд
байгалийн коллагенийн ширхэгтүүдийг дуурайсан ойролцоогоор 8 нм-ийн диаметртэй
ширхэгтүүдийн өөрөө угсрагдахыг ашигладаг. Гарган авсан материалд байгалийн
ясны эс сайн бэхлэгддэг. Энэ нь түүнийг ясны “шаваас цавуу” мэтээр ашиглах
боломжийг өгдөг. Цахилгаан статикаар өөрөө угсрагдахуй ихэд хөгжсөн нь бодит
хугацаанд материалыг өөрчлөх бололцоог олгодог. Үүний үндэс нь дотроо
нанобөөмүүдтэй материалд өгсөн потенциалын ялгаврыг удирдах явдал юм.